Keithley 2460 數(shù)字源表?源測量單元（SMU）儀器
2460型大電流數(shù)字源表?源測量單元（SMU）儀器為 您帶來先進的Touch, Test, Invent?（觸摸、測試、發(fā)明） 技術(shù)。
2460 數(shù)字源表?源測量單元（SMU）儀器 概述：
2460型大電流數(shù)字源表?源測量單元（SMU）儀器為 您帶來先進的Touch, Test, Invent?（觸摸、測試、發(fā)明） 技術(shù)。它采用創(chuàng)新的圖形用戶界面(GUI)和電容觸摸屏技 術(shù)，不僅使測試直覺，而且實現(xiàn)學習曲線最小化，幫助工 程師和科學家更迅速學習、更聰明工作、更容易發(fā)明。2460型儀器具有7A直流和脈沖電流能力，已為高功率材 料、器件和模塊特性分析和測試而優(yōu)化，如碳化硅 (SiC)、 氮化鎵(GaN)、DC-DC轉(zhuǎn)換器、功率MOSFET、太陽電池 和面板、LED與照明系統(tǒng)、電化學電池與電池組，等等。 這些新的能力加上吉時利數(shù)十年開發(fā)高精密、高精度源測 量單元（SMU）儀器的專長，使得2460型儀器成為未來 實驗室和機架大電流應用的重要儀器。2460 數(shù)字源表?源測量單元（SMU）儀器 主要特性：
- 在一個緊湊儀器內(nèi)集成了分析儀、 曲線追蹤儀和I-V系統(tǒng)等多種能力， 成本更低
- 動態(tài)范圍寬，105V, 7A DC/7A 脈沖, 100W（最大值）
- 5英寸、高分辨率、電容觸摸屏圖 形用戶界面(GUI)
- 基本測量準確度0.012%，6位半 數(shù)字分辨率
- 源和阱(4象限)操作
- 4個“Quickset”模式，用于快速設(shè) 置和測量
- 背景敏感的幫助功能
- 前面板輸入香蕉插孔；后面板集 體輸入螺絲連接
- 2460 SCPI與TSP?腳本編程模式
- 前面板USB 2.0存儲器I/O端口， 用于傳輸數(shù)據(jù)、測試腳本或測試 配置
更迅速學習、更聰明工作、更容易發(fā)明
2460型儀器采用5英寸、全彩色、高分辨率觸摸屏，支持直觀操作，幫助 操作人員迅速熟悉儀器，優(yōu)化整體速度和生產(chǎn)率?；诠鈽说暮唵尾藛谓Y(jié)構(gòu)， 使測試配置所需步驟減少50%，而且省去軟鍵儀器普遍使用的繁瑣的多層菜單 結(jié)構(gòu)。內(nèi)建的背景敏感的幫助功能，支持直觀操作，并把瀏覽單獨菜單的需求 降為最少。這些特性以及2460型儀器的多功能性，簡化了其在基礎(chǔ)測量和先進 測量應用中的操作，無論用戶是否具有使用源測量單元（SMU）儀器的工作經(jīng)驗。
2460型儀器主界面
2460型儀器基于光標的菜單結(jié)構(gòu)，可以幫助 新用戶迅速和自信地配置測試。
一體化源測量單元（SMU）儀器
2460型儀器基于獲獎的第四代 源測量單元（SMU）平臺，并充分 利用已被證明的吉時利大電流源測 量單元（SMU）儀器（包括2420、 2425和2440型儀器）的能力。該儀 器可提供高度靈活的4象限電壓和電 流源/負載，適合高精密電壓和電流 測量。這款一體化源測量單元（SMU） 儀器可以用作：
2460型儀器功率包絡(luò)
- 高精密電源，具有V和I回讀功能
- 真正的電流源
- 數(shù)字多用表(數(shù)字電壓計、數(shù)字電 流計、電阻計和功率計，具有6位 半分辨率)
- 高精度電子負載
- 觸發(fā)控制器
| 2420/2425/2440型 | 2460型 |
| 最大電壓: 60V/100V/40V | 最大電壓: 100V |
| 最大電流: 3A/3A/5A | 最大電流: 7A |
| 直流功率: 60W/100W/50W | 直流功率: 100W |
| 寬頻帶噪聲: 10mVrms 典型值 | 寬頻帶噪聲: 2mVrms 典型值 |
|
掃描類型： 線性、日志、定制、源-存儲 |
掃描類型： 線性、日志、雙線性、雙日志、定制 |
| 5000 點讀數(shù)緩存 | >250,000 點讀數(shù)緩存 |
| >2000 讀數(shù)/秒 | >3000 讀數(shù)/秒 |
| SCPI 編程 | SCPI 編程 + TSP 腳本 |
| GPIB, RS-232 | GPIB,USB, 以太網(wǎng)(LXI) |
| 前/后面板香蕉插孔 |
前面板：香蕉插孔 后面板：螺絲端子連接 |
易用性超越觸摸屏
除了采用先進的觸摸屏，2460型儀器的前面板還提供改進速度、用戶友好性 和可學習性的諸多特性，包括USB 2.0存儲器I/O端口、HELP鍵、旋轉(zhuǎn)導航/控制 旋鈕、前面板/后面板輸入選擇按鈕、適合基本臺式應用的香蕉插孔。USB 2.0存 儲器端口簡化存儲測試結(jié)果和儀器配置，將測試腳本上傳至儀器，以及安裝系統(tǒng) 升級。前面板的所有按鈕都采用背光，提高了低照環(huán)境下的可視性。
2460型儀器的高分辨率、電容觸摸屏和前面板控制允許直觀操作，即使新用戶也感到易用。
4種“Quickset”模式簡化了一起設(shè)置。 只需輕輕一觸，就可以為不同工作模式 快速配置儀器，無需為這個操作進行間 接配置。
一觸Quickset模式加速測量設(shè)置，把測量時間 降到最短。
全面的內(nèi)建連接性
通過2460型儀器后面板，可以接入后面板接入螺絲端子 連接器、程控控制接口(GPIB、USB 2.0與LXI/Ethernet)、 D-sub 9插針數(shù)字I/O端口(用于內(nèi)部/外部觸發(fā)器信號和處理 程序控制)、儀器互鎖控制以及TSP-Link?插孔，從而簡化多 臺儀器測試方案配置，并省去額外適配器附件的花銷。
2460型儀器后面板連接已經(jīng)優(yōu)化，以保持信號完整性，并加速系統(tǒng)設(shè)置
將原始數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為信息
完整的繪圖窗口可以轉(zhuǎn)化原始數(shù)據(jù)，并立即顯示為有用 信息，如半導體I-V曲線和伏安圖。使用2460型儀器的電子表 （Sheet）瀏覽，測試數(shù)據(jù)還可以以表格形式顯示。該儀器 支持將數(shù)據(jù)輸出至電子數(shù)據(jù)表，用于進一步分析，大大提高 研究、臺式測試、設(shè)備資格和調(diào)試的生產(chǎn)率。
TriggerFlow?構(gòu)建模塊，適合儀器控制與執(zhí)行
2460型儀器采用吉時利TriggerFlow觸發(fā)系統(tǒng)，便于用戶 對儀器執(zhí)行進行控制。TriggerFlow圖形的創(chuàng)建與流程圖繪制 基本相同，它采用4個基本的構(gòu)建模塊：
- 等待 – 等待一個事件的發(fā)生，然后繼續(xù)流動
- 分支 – 當條件滿足時進行分支
- 動作 – 啟動儀器動作，如測量、源、延遲、設(shè)置數(shù)字I/O等
- 通知 – 通知其他設(shè)備已發(fā)生的事件
TriggerFlow構(gòu)建模塊允許創(chuàng)建觸發(fā)模型，從極簡單到高度復雜的觸發(fā)模型。
利用這些構(gòu)建模塊組合可以通過前面板構(gòu)建TriggerFlow 模型，也可以通過發(fā)送程控命令進行構(gòu)建。有了TriggerFlow 系統(tǒng)，用戶可以構(gòu)建各種觸發(fā)模型，包括簡單觸發(fā)模型以及 多至255模塊等級的復雜觸發(fā)模型。2460型儀器還包括基本 的觸發(fā)功能，如即時/定時器/手動觸發(fā)。
內(nèi)建數(shù)據(jù)顯示、繪圖和電子數(shù)據(jù)表輸出功能， 很容易將測試結(jié)果轉(zhuǎn)化為有用信息。
無與倫比的系統(tǒng)集成與編程靈活性
當2460型儀器配置為多通道I-V測試系統(tǒng)時，嵌入式測試 腳本處理器(TSP?)允許其運行測試腳本，因此用戶可以創(chuàng)建 功能強大的測試應用，并大幅縮短開發(fā)時間。TSP技術(shù)還提供 無需主機的通道擴展能力。吉時利的TSP-Link?通道擴展總線 采用100 Base T以太網(wǎng)電纜，可以在主從配置中實現(xiàn)多部 2460型儀器與其他TSP儀器的連接，如吉時利2450型數(shù)字源 表源測量（SMU）單元儀器、2600B系列系統(tǒng)數(shù)字源表源測 量（SMU）單元儀器及3700A系列開關(guān)/多用表系統(tǒng)，使之作 為一個集成系統(tǒng)工作。每個GPIB或IP地址的TSP-Link擴展總 線支持32部設(shè)備，因此很容易擴展系統(tǒng)，滿足具體的應用需 求。2460型儀器還包括SCPI編程模式，可以充分利用儀器的 各種能力。
并行測試能力
2460型儀器的TSP技術(shù)支持多個器件并行測試，可以滿 足器件研究、先進半導體實驗室應用級高吞吐生產(chǎn)測試需求。 這個并行測試能力允許系統(tǒng)中的每臺儀器運行其自身的完整 測試序列，建立完全的多線程測試環(huán)境。2460型儀器可并行 運行的測試數(shù)量與系統(tǒng)中儀器數(shù)量相同。
免費儀器控制啟動軟件
2460型儀器包含KickStart儀器控制/啟動軟件，使用戶無 需編程即可在數(shù)分鐘內(nèi)開始測試。在多數(shù)情況下，用戶只需 進行幾次快速測量，繪制數(shù)據(jù)圖表，并將數(shù)據(jù)存儲至磁盤， 以便日后在Excel等軟件環(huán)境分析數(shù)據(jù)。KickStart軟件提供以下功能:
- 儀器配置控制，以執(zhí)行I-V特性分析
- X-Y繪圖、平移和縮放
- 通過電子數(shù)據(jù)表/表格瀏覽數(shù)據(jù)
- 保存和輸出數(shù)據(jù)，用于深入分析
- 保存測試設(shè)置
- 屏幕截圖
- 測試注釋
- 命令行輸入，用于發(fā)送和接收數(shù)據(jù)
- HTML幫助
- GPIB、USB 2.0、以太網(wǎng)兼容
KickStart啟動軟件讓用戶在幾分鐘內(nèi)做好測量準備。
利用現(xiàn)成的儀器驅(qū)動程序簡化編程
2460 數(shù)字源表?源測量單元（SMU）儀器 技術(shù)數(shù)據(jù)：
電壓規(guī)格1, 2
| 電壓源 | 電壓測量 3 | ||||||
| 量程 | 最大電流 | 分辨率 | 準確度 (23° ± 5°C)1 年±(% 設(shè)置 + 伏特) | 噪聲 (RMS) (<10 Hz) | 分辨率 | 輸入電阻 | 準確度 (23° ± 5°C)1 年±(% 讀數(shù) + 伏特) |
| 200.0000 mV | 7.35 A | 5 μV | 0.015% + 200 μV | 1 μV | 100 nV | >10 GW | 0.012% + 200 μV |
| 2.000000 V | 7.35 A | 50 μV | 0.015% + 300 μV | 10 μV | 1 μV | >10 GW | 0.012% + 300 μV |
| 7.000000 V | 7.35 A | 250 μV | 0.015% + 2.4 mV | 100 μV | 1 μV | >10 GW | 0.015% + 1 mV |
| 10.00000 V | 5.25 A | 500 μV | 0.015% + 2.4 mV | 100 μV | 10 μV | >10 GW | 0.015% + 1 mV |
| 20.00000 V | 4.20 A | 500 μV | 0.015% + 2.4 mV | 100 μV | 10 μV | >10 GW | 0.015% + 1 mV |
| 100.0000 V | 1.05 A | 2.5 mV | 0.015% + 15 mV | 1 mV | 100 μV | >10 GW | 0.015% + 5 mV |
電流規(guī)格 1, 2, 5
| 電壓源 | 電壓測量3 | ||||||
| 量程 | 最大電壓 | 分辨率 | 準確度 (23° ±5°C) 41 年±(% 設(shè)置 + 安培) | 噪聲 (RMS) (<10 Hz) | 分辨率 4 | 輸入電阻 6 | 準確度 (23° ±5°C)1 年±(% 讀數(shù) + 安培) |
| 1.000000 μA | 105 V | 50 pA | 0.025% + 1 nA | 40 pA | 10 pA | <100 μV | 0.025% + 700 pA |
| 10.00000 μA | 105 V | 500 pA | 0.025% + 1.5 nA | 40 pA | 10 pA | <100 μV | 0.025% + 1 nA |
| 100.0000 μA | 105 V | 5 nA | 0.020% + 15 nA | 100 pA | 100 pA | <100 μV | 0.020% + 10 nA |
| 1.000000 mA | 105 V | 50 nA | 0.020% + 150 nA | 1 nA | 1 nA | <100 μV | 0.020% + 100 nA |
| 10.00000 mA | 105 V | 500 nA | 0.020% + 1.5 μA | 10 nA | 10 nA | <100 μV | 0.020% + 1 μA |
| 100.0000 mA | 105 V | 5 μA | 0.020% + 15 μA | 100 nA | 100 nA | <100 μV | 0.020% + 10 μA |
| 1.000000 A | 105 V | 50 μA | 0.050% + 750 μA | 5 μA | 1 μA | <100 μV | 0.050% + 500 μA |
| 4.000000 A | 21 V | 250 μA | 0.100% + 3 mA | 25 μA | 1 μA | <100 μV | 0.100% + 2.5 mA |
| 5.000000 A | 10.5 V | 250 μA | 0.100% + 3 mA | 25 μA | 1 μA | <100 μV | 0.100% + 2.5 mA |
| 7.000000 A | 7.35 V | 500 μA | 0.150% + 6 mA | 125 μA | 1 μA | <100 μV | 0.150% + 5 mA |
溫度系數(shù) (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 × 精度指標)/°C
- 速度 = 1 PLC。
- 所有規(guī)格都在輸出開啟時確保。
- Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.
- 6.5-digit 電壓測量 分辨率.
- 6位半測量分辨率。
- 使用2460-KIT螺絲端子附件時確保準確度規(guī)格。
- 4線模式。
電阻測量精度(本地或源端測量) 1, 2, 3
| 量程 | 缺省分辨率 4 | 缺省測試電流 | 一般準確度(23°C ±5°C)1 年, ±(% 讀數(shù) + 歐姆) | 增強準確度 5(23°C ±5°C)1 年, ±(% 讀數(shù) + 歐姆) |
| <2.000000 Ω6 | 1 μΩ | 用戶定義 | 電壓源 IACC + 測量 VACC | 測量 IACC + 測量 VACC |
| 20.00000 Ω | 10 μΩ | 100 mA | 0.05% + 0.003 Ω | 0.04% + 0.001 Ω |
| 200.0000 Ω | 100 μΩ | 10 mA | 0.05% + 0.03 Ω | 0.04% + 0.01 Ω |
| 2.000000 kΩ | 1 mΩ | 1 mA | 0.05% + 0.3 Ω | 0.04% + 0.1 Ω |
| 20.00000 kΩ | 10 mΩ | 100 μA | 0.05% + 3 Ω | 0.04% + 1 Ω |
| 200.0000 kΩ | 100 mΩ | 10 μA | 0.05% + 30 Ω | 0.05% + 10 Ω |
| 2.000000 mΩ | 1 W | 10 μA | 0.06% + 100 Ω | 0.06% + 50 Ω |
| 20.00000 mΩ | 10 Ω | 1 μA | 0.14% + 1000 Ω | 0.12% + 500 Ω |
| >20.0000 mΩ6 | — | User defined | 電壓源 IACC + 測量 VACC | 測量 IACC + 測量 VACC |
溫度系數(shù) (0°–18°C和28°–50°C)： ±(0.10 ×精度指標)/°C
源電流、測量電阻模式：整體不確定性 = I源準確度 + V測量準確度 (4線遠端測量)
源電壓、測量電阻模式：整體不確定性= V源準確度 + I測量準確度 (4線遠端測量)
- 速度 = 1 PLC。
- 所有規(guī)格都在輸出開啟時確保。
- 正確歸零后，準確度適用于2線和4線模式。 10. 6位半測量分辨率。
- 6位半測量分辨率。
- 支持源回讀。偏移補償開啟。
- 僅源電流測量電阻或源電壓測量電阻。
其他特性
最大輸出功率 — 100W, 4象限源或阱操作。
源限幅： — V源：±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I源：±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)
過量程 — 量程的105%，源和測量
調(diào)節(jié) — 電壓：線路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100μV。
電流：線路：量程的0.01%，負載：量程的0.01% + 100pA。
源限幅 — 電壓源電流限幅：雙極電流限幅設(shè)置為單一值。最小值為量程的10%。
電流源：<典型值的0.1% （1mA步長, R負載 = 10kΩ, 20V量程）。
V-限幅 / I-限幅精度 — 增量為設(shè)置的0.3%以及基本指標讀數(shù)±0.02%。
過沖 — 電壓源：<典型值的0.1% （滿刻度步長, 電阻負載, 20V量程, 10mA I-限 幅）。
電壓源: <0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).
量程變化過沖 — 量程變化過沖：對100kΩ的完全電阻負載過沖, 10Hz～20MHz帶寬，臨近量程：<250mV，典型值。
輸出建立時間 — 輸出建立時間：與最終值相差0.1%所需的時間, 20V量程, 100mA I-限幅：<200μs，典型值。
最大斜率 — 最大斜率：1V/μs，100V量程，對20kΩ負載，限幅為100mA (典型值)。0.6V/μs，20V量程，對20kΩ負載， 限幅為100mA (典型值)。
過壓保護 — 過壓保護：用戶可選擇值5% ±0.5V容限。出廠缺省值=無。
電壓源噪聲 — 10Hz–20MHz (RMS)：<4.5mV，針對電阻負載的典型值。
共模電壓 — 250V DC
共模隔離 — >1G Ω, <1000 pF.
噪聲抑制(典型值)：
| NPLC | NMRR | CMRR |
| 0.01 | — | 60 dB |
| 0.1 | — | 60 dB |
| 1 | 60 dB | 100 dB |
負載阻抗 — 一般模式：20nF，典型值 。
大電容模式 — 穩(wěn)定至50μF，典型值。對于≥100μA量程，大電容模式有效。
FORCE和SENSE端之間的最大電壓降：5V
測量引線最大電阻 — 1MΩ，針對額定精度。
測量輸入阻抗 — >10 GΩ.
保護偏移電壓 — <300 μV, 典型值
系統(tǒng)測量速度 1
頻率為60Hz (50Hz)的讀取速度(讀數(shù)/秒) 典型值，腳本(TSP?)可編程| NPLC | 觸發(fā)源 | 對內(nèi)存測量 | 對GPIB/USB/LAN測量 | 對內(nèi)存的源測量 | 對GPIB/USB/LAN的源測量 |
| 0.01 | 內(nèi)部 | 3050 (2800) | 2800 (2500) | 1700 (1600) | 1650 (1550) |
| 0.01 | 外部 | 2300 (2100) | 2150 (2000) | 1650 (1550) | 1600 (1450) |
| 0.1 | 內(nèi)部 | 540 (460) | 530 (450) | 470 (410) | 470 (400) |
| 0.1 | 外部 | 500 (420) | 500 (420) | 460 (390) | 450 (350) |
| 1.00 | 內(nèi)部 | 59 (49) | 59 (49) | 58 (48) | 58 (48) |
| 1.00 | 外部 | 58 (48) | 58 (48) | 57 (48) | 57 (46) |
| NPLC | 觸發(fā)源 | 對內(nèi)存測量 | 對GPIB/USB/LAN測量 | 對內(nèi)存的源測量 | 對GPIB/USB/LAN的源測量 |
| 0.01 | 內(nèi)部 | 3000 (2800) | 3000 (2790) | 1700 (1600) | 1550 (1500) |
| 0.01 | 外部 | 2330 (2150) | 2330 (2150) | 1650 (1550) | 1500 (1450) |
| 0.1 | 內(nèi)部 | 540 (460) | 540 (460) | 470 (410) | 460 (400) |
| 0.1 | 外部 | 510 (430) | 510 (430) | 470 (400) | 460 (390) |
| 1.00 | 內(nèi)部 | 59 (49) | 59 (49) | 58 (48) | 58 (48) |
| 1.00 | 外部 | 58 (49) | 58 (49) | 58 (48) | 58 (48) |
